13/08/2026
🤔 半導體製程小知識|設備空間有限,微小風速該如何量測?
🧐 在半導體製程設備中,部分內部管道、設備風道或狹小通風路徑仍需要掌握微小氣流變化。然而,這類位置通常受到設備結構與安裝空間限制,傳感器本體、配線及後續維護可能不適合直接配置於量測位置,因此除了風速量測範圍外,產品的安裝型式也是選型時的重要考量。
👍 為因應不同設備結構,FDM06-L 雙向微小風速熱質式傳感器採用小型化本體設計,並提供插入型與分離型兩種安裝配置。插入型可將探棒直接伸入管道進行量測;分離型則可將感測探頭設置於管道內,主機安裝於設備外部,方便配線、操作及後續維護。
除了提供不同安裝配置外,FDM06-L 最低可量測 0.01 m/s 的微小風速,即使是極微小的氣流變化也能即時掌握,並具備雙向量測功能,可同步監測氣流速度與流向變化,適用於半導體製程中對微小氣流量測要求較高的應用環境。
✨ 微小風速量測不僅需要合適的量測範圍,也應依現場空間與設備結構選擇適當的安裝配置,才能兼顧量測穩定性、配線便利性與後續維護效率。
📲 FDM06-L:https://www.yuden.com.tw/eyc-tech-fdm06-l-bi-directional-low-air-flow-thermal-mass-transmitter-duct-remote-type
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